安全及预防臭氧发生器的措施:
第一,操作设备时需要了解安全预防措施。
无法使橡胶类(橡胶和丁腈橡胶)的密封圈直接接触臭氧,无法使用镀银的VCR垫片。
不能使用其它气体来代替指定规格的气体。
绝不允许任何外来物质进入臭氧发生器,避免臭氧催化剂进入臭氧气管。
二是设备中的潜在风险及防范措施-臭氧
Ozone主要存在于气体管道、臭氧发作管及设备连接处。
Ozone的安全和预防措施:
1. 保证臭氧气柜的排风作业正常
2. 通过SS不镀银的VCR垫片连接所有进口和出口的气体管道,
3. 除非SEMOZONE已经通入氮气清洁管道,否则不要打开外部气体管道或设备连接管道。
4. 必须在臭氧发生器运转前检查所有紧固的臭氧管道。
5. 如果OZONE检测设备的臭氧浓度超过TLV设定值,臭氧发生器是否会停止?
处理臭氧泄漏的方法:
通过激活外部报警信号,臭氧发生器可以通过急停停止臭氧发生器
疏散所有危险区域的人员
没有自呼吸防护装备的情况下,不能进入危险区域
进入危险区域之前,要使臭氧自然分化或散失。
设备中的潜在风险及防范措施-氧气
Oxygen主要存在于气体管道、臭氧发作管及设备连接处。
Oxygen的安全和预防措施:
1. 通过SS不镀银的VCR垫片连接所有进口和出口的气体管道,
如果有明火,在SEMOZONE清洗管道之前,不要打开外部气体管道或设备连接管道。
处理氧气泄漏的方法:通过外部阀门关闭氧气进气口
设备中的潜在风险及防范措施-电击 Line voltage
Line 臭氧发生器后端的voltage和所有电路连接部件(包括臭氧发生器中的电压电路连接)
Line voltage 电路电压的安全和预防措施:
如果臭氧发生器已经上电,不要打开设备盖板触摸电路部件。
阻止绝缘盖板在臭氧发生器运转过程中移走。
确保在修理过程中要确定并悬挂修理挂牌。
尽管现在总电源和主开关已经关闭在OFF位置,但有些电路部分仍有电源。
1.ECOPS(G1)终端区域存在电力存在
主开关S1输入终端有电源。
设备中的潜在风险及防范措施-电击 Stored charges
Stored charges是ECOPS电源(G1)
High AC voltage 电路电压的安全和预防措施:
停止在SEMOZONE断电后立即修理ECOPS。
2.断电后,SEMOZONE至少要等10分钟才能打开ECOPS进行修理和更换。
设备中的潜在风险及预防措施-物理压力 pressure
气体与水管、臭氧发作反应管和设备连接之间存在压力风险
Pressure 安全和预防措施:
当打开气管、水管和设备连接管时,应对SEMOZONE进行泄压。
Gasline
清洗管道至少需要10分钟,直至所有臭氧排出。
通过外部阀门或压力调节阀关闭氧气进气,如果有氮气进气也要关闭。
释放气体压力,通过工艺管道(打开工艺管道阀门)
等待直到压力接近周围环境的压力。
Waterline
关闭冷却水进水和出水阀门
逐步打开设备连接处,使冷却水排到预留的外部储水盘中。
等待,直到没有剩余的水从设备连接处流出,停止。
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