量子级洁净守卫者——解密丹佳智能净化空调的微控法则
青岛西海岸某晶圆厂的无尘车间内,丹佳自主研发的iClean Pro净化空调机组正以0.001℃的温控精度守护着芯片制造的黄金环境。机组内置的128组纳米级传感器,可实时捕捉粒径≥0.01μm的微粒浓度,与三级过滤系统联动作业:初效过滤器拦截5μm以上颗粒,中效层捕获0.5μm粉尘,末端PTFE超滤膜对0.1μm微粒截留率达99.9997%。
查看详情